I ricavi di AXCELIS TECHS DL-,001 nell'ultimo anno sono stati pari a 983.24 M EUR, la maggior parte dei quali - 1.01 B EUR - provengono dalla fonte più remunerativa di questo periodo, Ion Implantation Systems and Services, che l'anno precedente ha apportato ben 839.18 M EUR. Il maggior contributo alle entrate proviene da Stati Uniti, da cui AXCELIS TECHS DL-,001 ha incassato 678.86 M EUR nell'ultimo anno, e 592.46 M EUR nell'anno precedente.